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射频磁控共溅射制备Li-La-Ti-Zr-O薄膜电解质
射频磁控共溅射制备Li-La-Ti-Zr-O薄膜电解质
上传者:
38699726
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上传时间: 2024-02-26 10:31:38
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文件大小: 360KB
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文件类型: PDF
首发论文
射频磁控共溅射制备Li-La-Ti-Zr-O薄膜电解质,农剑,徐华蕊,以Li0.33La0.56TiO3(LLTO)与Li7La3Zr2O12(LLZO)粉末靶材为溅射源,用射频磁控共溅射的方法制备Li-La-Ti-Zr-O薄膜电解质。在室温条件下,其离�
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